Бърза полупроводникова проверка с помощта на различни методи за наблюдение на микроскоп
Полупроводниковата проверка на оформени вафли и интегрални схеми (ICS) по време на производствения процес е от решаващо значение за идентифициране и намаляване на дефектите. За да се подобри ефективността на контрола на качеството в ранния етап на производство и да се гарантира надеждната ефективност на интегрираните вериги, микроскопските разтвори трябва да се комбинират с различни методи за наблюдение, за да се предостави пълна и точна информация за различни дефекти. Методите за наблюдение, въведени тук, включват ярко поле, тъмно поле, поляризация DIC, ултравиолетово, наклонено осветление и инфрачервена. Те са интегрирани в микроскопи за откриване и развитие на вафли и интегрални схеми.
Как индустрията за производство на полупроводници се възползва от микроскопите
Решенията на микроскопа играят важна роля за ефективно и надеждно откриване, контрол на качеството (QC), анализ на повреда (FA) и изследвания и разработки (R&D) в производствената индустрия за полупроводници.
В процеса на производство на полупроводници могат да възникнат различни видове дефекти на различни етапи, което може да повлияе на нормалната работа на оборудването. Колкото по -рано се откриват тези дефекти, толкова по -добре. Тези дефекти могат да бъдат причинени от произволно разпределени прахови частици върху вафлата (случайни дефекти) или от драскотини, откъсване и остатъци от покрития и фоторезист, причинени от условия на обработка (например по време на ецване) и могат да възникнат в специфични области на вафлата. Поради малкия си размер микроскопите са предпочитаният инструмент за идентифициране на такива дефекти.
Особено в сравнение с по -бавните и по -скъпи микроскопи като електронни микроскопи (EM), оптичните микроскопи (OM) имат много предимства. Поради своята гъвкавост и лекота на използване, оптичните микроскопи обикновено се използват за качествени и количествени проучвания на дефекти върху голи вафли и оформени/обработени вафли, както и в процесите на сглобяване и опаковане на интегрални вериги (ICS).
Различни методи за наблюдение на оптична микроскопия, като ярко поле (BF), тъмно поле (DF), контраст на диференциална интерференция (DIC), поляризация (POL), ултравиолетово (UV), наклонено осветление и инфрачервена (IR), предавана светлина [1-4], са от решаващо значение за бързи и точни дефиниращи детукционни процеси.
