Име и функция на всяка част от конфокалния микроскоп
Въз основа на принципа на конфокалната технология, конфокалният микроскоп се използва за измерване на повърхността на различни прецизни устройства и материали на микро и нано ниво и може директно да изобразява морфологията на повърхността на материални проби със странична разделителна способност до 1 nm и разделителна способност по Z-ос до 0,5 nm. Той може не само да измерва морфологията на повърхността на пробата и да предоставя функцията за характеризиране на микроскопичната морфология на измерването на размера на профила, но също така осигурява пет основни аналитични функции, като анализ на грапавостта, анализ на геометричен профил, структурен анализ, честотен анализ и функционален анализ. Анализ на грапавостта, анализ на геометричен профил, структурен анализ, честотен анализ и функционален анализ също са предоставени.
Анализът на грапавостта включва пълен параметърен анализ според ISO4287 грапавост на линията, ISO25178 грапавост на повърхността, ISO12781 плоскост и др.; анализът на геометричния контур включва измервания на височината на стъпката, разстоянието, ъгъла, извивката и други характеристики и оценка на правотата, заоблеността и толеранса на формата; структурният анализ включва обема на отворите и дълбочината на коритото и др.; честотният анализ включва посоката на зърното и спектралния анализ; функционалният анализ включва анализ на посоката и честотния спектър; честотният анализ включва анализ на посоката и честотния спектър; и функционален анализ също е наличен. Честотният анализ включва текстурна посока и спектрален анализ; Функционалният анализ включва SK параметри и обемни параметри.
Структурата на конфокалния микроскоп се състои главно от: микроскоп, източник на лазерна светлина, сканиращо устройство, детектор, компютърна система (включително събиране на данни, обработка, преобразуване, приложен софтуер), устройство за изход на изображение, оптично устройство и конфокална система.
В областта на керамиката, металите, полупроводниците, чиповете и други области на науката за материалите и инспекцията на производството конфокалният микроскоп има широк спектър от приложения. Конфокален микроскоп, базиран на принципа на конфокална микроскопия, безконтактно сканиране на повърхността на устройството и създаване на повърхностно 3D изображение, чрез системния софтуер на повърхността на устройството, обработка и анализ на данни за 3D изображения, така че да се получи 2D, 3D параметри, отразяващи качеството на повърхността на устройството, за постигане на 3D измерване на морфологията на повърхността на устройството.
Може да се използва широко в производството на полупроводници и инспекция на процесите на опаковане, 3C електронен стъклен екран и неговите прецизни части, оптична обработка, производство на микро-наноматериали, автомобилни части, MEMS устройства и друга свръхпрецизна машинна промишленост и космонавтика, научноизследователски институти и други полета. Измерете и анализирайте повърхностния профил, повърхностните дефекти, износването, корозията, плоскостта, грапавостта, гофрирането, хлабината на порите, височината на стъпката, деформацията на огъване, обработката и други характеристики на повърхността на различни продукти, компоненти и повърхности на материали.
