Приложение посока% 3a функцията на инфрачервена микроскоп в на температура измерване на микро полупроводникови устройства.
Секунда, the background:
With the development of nanotechnology, its top-down miniaturization has been more and more applied in the field of semiconductor technology. We used to call IC technology "microelectronics" technology, because the size of transis in the micron (10-6 meters) level. However, semiconductor technology is developing very fast, and it will progress by one generation every two years, and its size will be reduced to half of its original size. This is the famous Moore's Law. About 15 years ago, semiconductors began to enter the era of sub-micron, that is, less than micron, and then there was an era of deep sub-micron and much smaller than micron. By 2001, the size of the transistor was even less than 0.1 micron, that is, less than 100 nanometers. Therefore, it е ерата на нано-електроника % 2c и най- на на бъдещето IC ще бъде направи на нано-технология.
Трети, the технически изисквания:
At present, the main failure form of electronic devices is thermal failure. According to statistics, 55 percent of electronic device failures are caused by the temperature exceeding the specified value. With the increase of temperature, the failure rate of electronic devices increases exponentially. Общо говорене, на работа надеждност на електронни компоненти е изключително чувствителен към температура% 2c и надеждността ще намалее с 5 процент за всеки 1 степен увеличение на устройство температура на нивото на 7b% 7b% 7b3% 7d% 7d градуса Следователно% 2c е необходимо да се открие температурата на устройството бързо и надеждно. Като на размер на полупроводникови устройства е получаване по-малък и по-малък% 2c по-високи изисквания са поставени напред за температурата резолюция и пространствен резолюция на откриване оборудване.
Fourth, shoot the heat map on the spot (местоположение: a добре познати научни изследвания институт модел: INNOMETE SI330)
