Кои са факторите, влияещи върху разделителната способност на трансмисионната електронна микроскопия?
A. Диаметър на петното на падащия електронен лъч: това е границата на разделителната способност на сканиращия електронен микроскоп. Обикновено минималният диаметър на петното на лъча на електронния пистолет с горещ катод може да бъде намален до 6 nm, а електронният пистолет с полева емисия може да направи диаметъра на петното на лъча по-малък от 3 nm.
B. Ефект на разширяване на падащия електронен лъч в пробата: степента на дифузия зависи от енергията на падащите електрони на лъча и атомния номер на пробата. Колкото по-висока е енергията на падащия лъч, толкова по-малък е атомният номер на пробата, толкова по-голям е обемът на електронния лъч и площта, където се генерира сигналът, се увеличава с дифузията на електронния лъч, като по този начин намалява разделителната способност.
В. Метод за изобразяване и използван модулационен сигнал: когато вторичният електрон се използва като модулационен сигнал, поради ниската му енергия (по-малко от 50 eV) и късия среден свободен път (около 10-100 nm), само повърхностният слой от 50-100 nm Вторичните електрони в диапазона на дълбочината могат да избягат само от повърхността на пробата и броят на възникващите разсейвания е много ограничен и по принцип не се разширява странично. Следователно разделителната способност на вторичното електронно изображение е приблизително равна на диаметъра на петното на лъча. Когато обратно разпръснатите електрони се използват като модулационен сигнал, енергията на обратно разпръснатите електрони е относително висока и проникващата способност е силна, така че те могат да избягат от по-дълбока зона в пробата (около 30 процента от ефективната дълбочина). В този диапазон на дълбочина падащите електрони имат доста широко странично разширение, така че разделителната способност на обратно разпръснато електронно изображение е по-ниска от тази на вторичното електронно изображение, обикновено около 500-2000nm. Ако други режими на работа като абсорбция на електрони, рентгенови лъчи, катодофлуоресценция, индуцирана от лъч проводимост или потенциал се използват като модулационни сигнали, тъй като сигналите идват от цялата област на разсейване на електронния лъч, разделителната способност на получените сканирани изображения е относително ниска , обикновено на l 000 nm или над l0000nm.
