Въведение в работните характеристики на сканиращите електронни микроскопи
Въведение в работните характеристики на сканиращите електронни микроскопи
Има различни видове сканиращи електронни микроскопи и различните видове сканиращи електронни микроскопи имат разлики в работата. Според вида на електронния пистолет той може да бъде разделен на три вида: електронен пистолет с полеви емисии, пистолет с волфрамова тел и лантанов хексаборид [5]. Сред тях сканиращите електронни микроскопи с полеви емисии могат да бъдат разделени на сканиращи електронни микроскопи със студени полеви емисии и сканиращи електронни микроскопи с горещи полеви емисии според производителността на източника на светлина. Сканиращата електронна микроскопия със студено поле има високи изисквания за условия на вакуум, нестабилен ток на лъча, кратък експлоатационен живот на емитера и необходимост от редовно почистване на върха. Той е ограничен до едно наблюдение на изображение и има ограничен диапазон на приложение; докато сканиращата електронна микроскопия с емисии на термично поле не само непрекъснато. Има дълго работно време и може да се използва с различни аксесоари за постигане на цялостен анализ. В областта на геологията ние не само трябва да проведем предварителни морфологични наблюдения на пробите, но също така трябва да комбинираме анализатори, за да анализираме други свойства на пробите, така че сканиращата електронна микроскопия с емисии на топлинно поле е по-широко използвана.
Сканиращият електронен микроскоп (SEM) е широкомащабен прецизен инструмент, използван за морфологичен анализ на микрорегиони с висока разделителна способност. Той има характеристиките на голяма дълбочина на рязкост, висока разделителна способност, интуитивно изображение, силно триизмерно усещане, широк диапазон на увеличение и пробата, която ще се тества, може да се върти и накланя в триизмерно пространство. В допълнение, той има предимствата на богати видове измерими проби, почти никакво увреждане или замърсяване на оригиналната проба и възможност за получаване на морфология, структура, състав и кристалографска информация едновременно. Понастоящем сканиращите електронни микроскопи са широко използвани в микроскопските изследвания в областта на науките за живота, физиката, химията, правосъдието, науките за земята, науката за материалите и промишленото производство. Само в науките за земята това включва кристалография, минералогия и минерални находища. , седиментология, геохимия, гемология, микропалеонтология, астрономическа геология, геология на нефт и газ, инженерна геология и структурна геология и др.
Въпреки че сканиращата електронна микроскопия е изгряваща звезда в семейството на микроскопите, тя се развива бързо поради многото си предимства.
1. Резолюцията на инструмента е висока. Той може да наблюдава детайли от около 6 nm върху повърхността на пробата чрез вторичното електронно изображение. Използвайки електронния пистолет LaB6, той може да бъде допълнително подобрен до 3nm.
2 Увеличението на инструмента има широк диапазон от промени и може да се регулира непрекъснато. Следователно можете да изберете различни размери на зрителните полета за наблюдение според вашите нужди. В същото време можете също така да получите ясни изображения с висока яркост при голямо увеличение, което е трудно да се постигне с общи трансмисионни електронни микроскопи.
3. Дълбочината на рязкост за наблюдение на пробата е голяма, зрителното поле е голямо и изображението е пълно с триизмерност. Грапавата повърхност с големи колебания и изображението на неравномерната метална фрактура на пробата могат да бъдат директно наблюдавани, което дава на хората усещането, че посещават микроскопичния свят лично.
4. Подготовката на пробата е проста. Докато блокът или прахообразната проба са леко обработени или необработени, те могат да бъдат директно поставени в сканиращия електронен микроскоп за наблюдение, така че да са по-близо до естественото състояние на материята.
5. Качеството на изображението може да бъде ефективно контролирано и подобрено чрез електронни методи, като автоматично поддържане на яркостта и контраста, корекция на ъгъла на наклона на пробата, завъртане на изображението или подобряване на толерантността на контраста на изображението чрез Y модулация, както и яркостта и тъмнината на всеки част от изображението. Умерен. С помощта на устройство с двойно увеличение или селектор на изображения, изображения с различни увеличения могат да се наблюдават на флуоресцентния екран едновременно.
6 Може да се извърши цялостен анализ. Оборудван с рентгенов спектрометър с дисперсионна дължина на вълната (WDX) или рентгенов спектрометър с енергийна дисперсия (EDX), той има функцията на електронна сонда и може също да открива отразени електрони, рентгенови лъчи, катодна флуоресценция, предавателни електрони и Auger излъчвани от пробата. Електроника и т.н. Разширеното приложение на сканиращата електронна микроскопия към различни микроскопични и микрообластни методи за анализ показва гъвкавостта на сканиращата електронна микроскопия. Освен това можете също да анализирате избрани микро-зони от пробата, докато наблюдавате морфологичното изображение; като инсталирате аксесоара за държач на полупроводникова проба, можете директно да наблюдавате PN прехода и микроскопичните дефекти в транзистора или интегралната схема чрез усилвателя на изображението с електродвижеща сила. Тъй като много електронни сонди за сканиращи електронни микроскопи са реализирали автоматично и полуавтоматично управление от електронни компютри, скоростта на количествения анализ е значително подобрена.
