Разлика между електронен микроскоп и металургичен микроскоп
Принцип на сканиращия електронен микроскоп
Сканиращият електронен микроскоп (SEM), съкратено SEM, е сложна система, която кондензира електронно-оптична технология, вакуумна технология, фина механика и модерна технология за компютърно управление. SEM е ускорен ефект на високо напрежение на електронната пушка, излъчена от електрона чрез многостепенна конвергенция на електромагнитна леща в малък лъч електрони. Сканиране в повърхността на образеца, възбуждане на разнообразна информация, чрез приемане на тази информация, усилване и изобразяване на дисплея, за да се анализира повърхността на образеца. Взаимодействието на падащите електрони с образеца произвежда типовете информация, показани на Фигура 1. Двуизмерното разпределение на интензитета на тази информация варира в зависимост от характеристиките на повърхността на образеца (тези характеристики са повърхностна морфология, състав, кристална ориентация, електромагнитни свойства , и т.н.), е разнообразие от детектори за събиране на информация по ред, съотношението на информацията, преобразувано във видео сигнал и след това предадено към едновременно сканиране на кинескопа и модулиране на неговата яркост, можете да получите отговор към повърхността на картата за сканиране на образеца. Ако полученият от детектора сигнал се дигитализира и преобразува в цифров сигнал, той може да бъде допълнително обработен и съхранен от компютър. Сканиращите електронни микроскопи са предназначени главно за наблюдение на дебели блокови образци с големи разлики във височината и груби неравности и следователно са проектирани да подчертават ефекта на дълбочината на рязкост и обикновено се използват за анализ на фрактури, както и на естествени повърхности, които не са са били изкуствено лекувани.
Електронен микроскоп и металургичен микроскоп
Първо, източникът на светлина е различен: металургичен микроскоп, използващ видима светлина като източник на светлина, сканиращ електронен микроскоп, използващ електронен лъч като източник на светлина.
Второ, принципът е различен: металургичен микроскоп, използващ принципа на изобразяване на геометрична оптика за изображения, сканиращ електронен микроскоп, използващ бомбардиране с високоенергиен електронен лъч на повърхността на пробата, възбуждане на различни физически сигнали на повърхността на пробата и след това използване на различни сигнални детектори за приемане на физически сигнали, преобразувани в информация за изображение.
Трето, разделителната способност е различна: при металургичен микроскоп поради интерференцията и дифракцията на светлината разделителната способност може да бъде ограничена само до 0.2-0.5um между тях. Сканиращ електронен микроскоп, тъй като използването на електронен лъч като източник на светлина, разделителната способност може да достигне между 1-3nm, така че наблюдението на тъканите на металургичния микроскоп принадлежи към анализа на ниво микрон, наблюдението на тъканите със сканиращ електронен микроскоп принадлежи на нанометрово ниво анализ.
Четвърто, дълбочината на рязкост е различна: обща дълбочина на рязкост на металургичния микроскоп между 2-3um, така че гладкостта на повърхността на пробата има много висока степен на изисквания, така че процесът на вземане на проби е относително сложен. Докато сканиращият електронен микроскоп има голяма дълбочина на полето, голямо зрително поле, изображения, богати на триизмерен смисъл, могат директно да наблюдават различни образци с неравна микроструктура на повърхността.
