Предимства на сканиращата електронна микроскопия
1. Увеличение
Тъй като размерът на флуоресцентния екран на сканиращия електронен микроскоп е фиксиран, промяната на увеличението се осъществява чрез промяна на амплитудата на сканиране на електронния лъч върху повърхността на пробата.
Ако токът на сканиращата намотка се намали, обхватът на сканиране на електронния лъч върху пробата ще бъде намален и увеличението ще се увеличи. Регулирането е много удобно и може да се регулира непрекъснато от 20 пъти до около 200, 000 пъти.
2. Резолюция
Разделителната способност е основният показател за ефективност на SEM.
Разделителната способност се определя от диаметъра на падащия електронен лъч и вида на модулационния сигнал:
Колкото по-малък е диаметърът на електронния лъч, толкова по-висока е разделителната способност.
Различните физически сигнали, използвани за изображения, имат различни разделителни способности.
Например SE и BE електроните имат различни емисионни обхвати на повърхността на пробата и техните разделителни способности са различни. Обикновено разделителната способност на SE е около 5-10 nm, а тази на BE е около 50-200 nm.
3. Дълбочина на полето
Отнася се за набор от възможности, които обективът може едновременно да фокусира и изобразява върху различни части от проба с неравности.
Крайната леща на сканиращия електронен микроскоп приема малък ъгъл на апертура и голямо фокусно разстояние, така че може да се получи голяма дълбочина на рязкост, която е 100-500 пъти по-голяма от тази на обикновен оптичен микроскоп и 10 пъти по-голяма от този на трансмисионен електронен микроскоп.
Голяма дълбочина на рязкост, силно триизмерно усещане и реалистична форма са изключителните характеристики на SEM.
Образците за SEM са разделени на две категории:
1 е проба с добра проводимост, която като цяло може да запази първоначалната си форма и може да се наблюдава в електронен микроскоп без или с малко почистване;
2. Непроводимите проби или пробите, които губят вода, отделят газ, свиват се и се деформират във вакуум, трябва да бъдат правилно обработени, преди да могат да бъдат наблюдавани.
