Предимства на сканиращия електронен микроскоп
1. Коефициент на увеличение
Поради фиксирания размер на флуоресцентния екран на сканиращия електронен микроскоп, промяната в увеличението се постига чрез промяна на амплитудата на сканиране на електронния лъч върху повърхността на пробата.
Ако токът на сканиращата бобина се намали, амплитудата на сканиране на електронния лъч върху пробата ще намалее и коефициентът на усилване ще се увеличи. Регулирането е много удобно и може да се регулира непрекъснато от 20x до около 200 000 пъти.
2. Резолюция
Разделителната способност е основният показател за ефективност на сканиращата електронна микроскопия.
Разделителната способност се определя от диаметъра на падащия електронен лъч и вида на модулационния сигнал Съвместно определяне:
Колкото по-малък е диаметърът на електронния лъч, толкова по-висока е разделителната способност.
Физическите сигнали, използвани за изображения, се различават по разделителна способност.
Например SE и BE електроните имат различни емисионни диапазони и разделителни способности на повърхността на пробата. Разделителната способност на SE обикновено е около 5-10nm, докато тази на BE е около 50-200nm.
3. Дълбочина на полето
Отнася се до обхвата на способността на обектива едновременно да фокусира и изобразява различни части от неравна проба.
Крайният обектив на сканиращия електронен микроскоп използва малка ъглова апертура и голямо фокусно разстояние, така че може да се получи голяма дълбочина на полето. Тя е 100-500 пъти по-голяма от дълбочината на рязкост на обикновения оптичен микроскоп и 10 пъти по-голяма от дълбочината на рязкост на трансмисионния електронен микроскоп.
Изтъкнатите характеристики на SEM са голяма дълбочина на полето, силно триизмерно усещане и реалистична морфология.
Пробите, използвани за сканираща електронна микроскопия, са разделени на две категории:
1 е проба с добра проводимост, която като цяло може да запази първоначалната си форма и може да се наблюдава под електронен микроскоп без или с леко почистване;
2 е непроводима проба или проба със загуба на вода, отделяне на газ или деформация при свиване във вакуум, която трябва да бъде правилно обработена, преди да може да се направи наблюдение.
